武汉世纪中航超强金刚石膜高科技有限公司

微波等离子体粉末表面处理装置

应用

粉末表面处理

产品特性

本微波等离子体设备外形尺寸为：长480mmX宽400mmX高900.

最大微波功率1kw；微波频率：2.45GHz；

自带冷却水循环系统形成冷却水. 制冷系统可保证冷却水温度在30度以下, 无水源要求。循环水机可联机使用、可独立使用，提高了投资效益与使用灵活性。缺水或断水，系统会断电并报警。

石英真空腔体内尺寸为：φ90x150，真空石英腔体可旋转，速度可调。

腔体与水平方向夹角可调来针对不同的样品处理，保证样品处理的均匀性。

流量计可选用玻璃转子或者MFC，可定制。

石英腔体转速连续来保证样品处理的均匀性。

微波发生器由带有水冷磁控管的激励腔和微波源供电电源组成。微波频率2.45GHz。微波功率0－1300W连续可调。带有微波输出功率显示（精确至1W）。可长时间连续工作。一旦磁控管温度过高会自动截断高压，确保磁控管不会失效。

真空度数字显示，精确至1Pa。