武汉世纪中航超强金刚石膜高科技有限公司

UP-120 不锈钢腔体式微波等离子体材料处理装置

应用：

材料表面改性

医疗器材表面灭菌消毒

表面清洗，如PCB、FPC、电子元件等

产品特性：

本品采用直接微波等离子体，等离子体产生效率高，样品处理均匀；

由微波系统、等离子体发生室、样品处理室、气路系统、真空系统和循环水冷却系统组成；

最大微波功率：1kw；微波频率：2.45GHz；

样品处理室ф262（内径）×165（高），容积35.58L。左、右侧及前门上各有一个（共3个）ф50观察窗，样品装卸门146（宽）×68（高），内有ф120（直径）水平样品台，样品台面离样品处理室底面高度两级可调节27-57-87。样品台升降架精巧豪华，方便调谐和样品取放；

等离子体发生室ф144（内径）×96（高）处于样品处理室之上；

2～4路气体输入由反应室内顶部（样品台上方）呈环形均流输入。可用氮气、氧气、氦气和大气等常用气体。流量控制可用玻璃转子流量计或者MFC；

可长时间连续工作，配循环水冷系统，环保经济；

常规采用机械真空泵，可选配扩散泵与涡轮分子泵。